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《半导体技术》2022年05期

 
目录
趋势与展望
高性能铪锆氧铁电材料与器件先进调控技术研究进展郭志愿;邱飞龙;倪金玉;赵毅;337-345
SiO2/SiC界面工艺技术研究现状及新进展刘佳霖;刘英坤;346-353
半导体材料与器件
AlGaN/GaN横向肖特基势垒二极管抗浪涌电流特性与封装方案冯威;徐尉宗;周峰;曾昶琨;任芳芳;陆海;354-359+396
双向Buck/Boost变换器中SiC MOSFET串扰分析与抑制张昊;孟润泉;李新宇;曹锐;郭卓燕;360-368
90 nm SOI nMOSFET自加热效应研究王娟娟;李江江;曾传滨;李逸帆;倪涛;罗家俊;赵发展;369-372+380
基于三基色LED的高精度色坐标偏差研究尤宇财;童嘉俊;卓宁泽;王海波;373-380
半导体制备技术
6英寸SiC单晶质量对GaN外延薄膜的影响房玉龙;张志荣;尹甲运;王波;芦伟立;高楠;陈秀芳;381-385
掺杂硅和金属通孔结构电迁移对比研究范伟海;386-390+420
集成电路设计与应用
W波段5W GaN四路合成功率放大器MMIC许春良;杨卅男;万悦;391-396
一种用于北斗卫星导航的射频接收前端芯片刘晓玲;王文豪;刘玲;张智;熊智;姜丹丹;397-402
一种带片上校准的16 bit两级逐次逼近型ADC冯景彬;胡伟波;国千崧;秦克凡;胡毅;李振国;侯佳力;403-409
封装、检测与设备
硅微谐振式加速度计器件级封装应力辨识贡旭超;裘安萍;黄锦阳;施芹;410-415
先进集成电路超大测试结构的短路失效定位方法杨领叶;史燕萍;段淑卿;陈强;蔡恩静;吕煜坤;高金德;416-420
《半导体技术》2022年栏目设置
345
中国电子科技集团公司第十三研究所第十七专业部产品推介
368
《半导体技术》稿约
402
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