目录
趋势与展望
基于ALD技术的高性能光电探测器研究进展胡鲲;翟爱平;冯琳;石林林;冀婷;李国辉;崔艳霞;909-920
半导体集成电路
GaN MMIC六位数字衰减器的设计齐志华;谢媛媛;921-925
应用于MEMS惯性器件的高精度Σ-Δ调制器李明昊;杨拥军;任臣;付迪;926-931
半导体器件
干法刻蚀和氢等离子体处理制备增强型p-GaN栅AlGaN/GaN HEMT特性冯玉昆;于国浩;吴冬东;杜仲凯;张炳良;李新宇;张宝顺;932-936+985
2～4GHz连续波120W GaN内匹配功率器件张一尘;吴景峰;银军;斛彦生;937-941+961
半导体材料
300mm直径硅外延片均匀性控制方法吴会旺;刘建军;米姣;薛宏伟;袁肇耿;942-945+991
定向凝固法生长多晶硅中位错密度降低的研究进展韩博;李进;安百俊;石星宇;徐尊豪;946-955
半导体制备技术
SiC JBS二极管衬底减薄与激光退火工艺刘启军;李诚瞻;罗海辉;卢吴越;龚芷玉;郑昌伟;李乐乐;956-961
基于灰度值评估法制备纳米CeO2胶体射流抛光液卢萍;侯荣国;吕哲;王湘田;王瑞;962-968
方形基片喷雾涂胶工艺的优化陈威;王河;党景涛;969-973
可靠性
基于异质金属接触电化学腐蚀的MMIC阻性衰减器失效分析何志刚;张玉兴;艾凯旋;梁栋程;974-977
半导体检测与设备
多芯片SiC功率模块布局优化余秋萍;赵志斌;赵斌;孙鹏;978-985
分布式老炼试验电源监视系统的研制彭浩;李伟;周晓黎;桂明洋;宋瑛;986-991
《半导体技术》稿约
968
中国电子科技集团公司第十三研究所第十七专业部产品推介
992
《半导体技术》2021年第46卷总目次
993-996