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《半导体技术》2021年10期

 
目录
趋势与展望
氧化铪基铁电场效应晶体管存储器研究进展潘奥霖;杜爱民;745-753+800
半导体集成电路
基于2μm GaAs HBT工艺的宽频带多模分频器马平洋;饶留铭;高海军;754-758
基于双模互锁的抗三节点翻转锁存器设计徐辉;孙聪;周乐;梁华国;黄正峰;李丹青;759-764+794
应用于DC-DC转换器的电流采样电路张在涌;师翔;赵永瑞;谭小燕;邓嘉霖;史亚盼;765-768+818
2.5~5GHz宽带高增益驱动放大器林少鑫;张志浩;刘子林;蔡颖斌;章国豪;769-773+778
半导体器件
硅基MEMS高性能发夹型交叉耦合滤波器刘恩达;贺萌;赵永志;李光福;赵宇;吴洪江;774-778
半导体材料
高纯度α-SiC粉料的合成张皓;王英民;陈建丽;孟大磊;779-782+807
半导体制备技术
溅射温度对Ga2O3薄膜物理特性的影响李蓉;杨非凡;周毅坚;彭文博;梅梦岩;赵洋;王辉;783-787+818
硅溶胶抛光液对硅单晶抛光片表面质量的影响索开南;张伟才;杨洪星;郑万超;788-794
先进封装技术
电力高端控制芯片封装协同设计、仿真与验证白利娟;郑奇;何慧敏;李德健;关媛;韩顺枫;曹立强;795-800
0.40mm节距的CQFP设计与可靠性杨振涛;于斐;刘林杰;高岭;801-807
半导体检测与设备
DC功率循环与PWM功率循环的差异对比分析谢露红;赵雨山;常桂钦;邓二平;陈杰;黄永章;808-818
聚焦位置对光谱椭偏仪膜厚测量的影响季鹏;杨乐;陈鲁;李成敏;张嵩;819-823
第七届全国新型半导体功率器件及应用技术研讨会暨2021半导体功率器件技术创新与产业融合发展论坛
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